中湖那边担心沪海对顾松有其他拉拢的手段，顾松其实一直泡在沪海微电子装备和华芯国际。

关于浸润式光刻的技术难题，顾松脑子里自然有全套解决方案。

不管是浸润液体的种类，还是浸没方式、气泡消除、污染沉积，都有办法能够解决。

但问题是大数值孔径投影物镜和偏振光的控制。

这两个问题，就涉及到整个光刻机中最昂贵最复杂的部件了。

几十片各种规格的镜片，每一片都得用高纯度透光材料进行高质量抛光，镜片表面稍微有一点曲度不对，或者镜片里的杂质产生衍射折射不对，再聚焦后的图像缺陷会成倍放大。

且不说对镜片材质和加工精度的事，这玩意，采用传统的方式，不论镜头数量如何堆叠、如何搭配，都难以达到浸润式光刻所需要的孔径。

但折反式投影物镜，就更复杂多了。

顾松倒是能给出图纸，但问题是现在造不出来。镜片的研磨、其他零部件加工和组装的精度，都达不到那个水平。

这玩意，难就难在精度。有人曾打过比喻，说相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。

真实的情况比这还要夸张，这可是纳米级的操作，头发丝千分之一的尺度啊。

达到这种精度的镜片，都是手工打磨。一个镜面的表面被分为数万个点，每个点的误差在十位数的纳米级别。

绝对的圣手！

阿斯麦尔也不是万能的，他也是到处采购最好的零部件，最后集成起来的。但问题是，这些最好的零部件，他没法采购到啊。

脑子里是有黑科技全书，可这玩意没办法直接操刀加工。

反倒是偏振光的控制，相对还简单一些，虽然也是非常精密的设计和加工。