第299章 研发中的第四代光刻机

温成岭跟随罗佳离开办公室，来到光学部地下三层。

在那里，温成岭见到了一部机器，一部验证原型机，型号为超光刻初代。

“这是一台光刻机？”

温成岭停下脚步，疑惑的问，同时露出震惊的表情。

商用型号光刻机会进行外包装，而这台是初代机，所以内部元器件都是裸露在外的，透过落地玻璃，可以一览无余。

温成岭震撼于这台机器的设计，它个体很大，拥有多达六个机台，其中三个是测量机台，另外三个是标准曝光台。

更多机台可以提高光刻机的工作效率，每小时产出更多硅片。

然而增加机台的同时，也对机械结构以及机台的减震能力，提出了更高要求，难度系数呈几何倍数增加，所以绝大多数光刻机的机台都只有两个。

光刻机是半导体领域的皇冠，需要无尘环境，此刻罗佳他们站在实验室外面，隔着一层玻璃。

“要不要进去看一看？”罗佳问道。

“真的可以吗？”温成岭微微一怔，显得非常激动。

“当然了，我们去换防尘服。”罗佳笑着说。

温成岭在北美上学和工作的年代，中美关系还不像如今这样紧张，所以他是识货的，在斯坦福大学的实验室里，见过许多光学领域最前沿的科技。

时至今日，北美方面已经不允许华夏留学生，进入关键性科技领域学习了，以防止技术外泄，半导体，生命科学，航空航天，都属于被禁的领域。

但温成岭虽然见多识广，却从未见过这样夸张的光刻机设计，一台机器，同时在六个机台上展开全自动作业，效率应该会非常高吧。