目前，华夏已经把基础型掩膜版价格，砸成了白菜价，帝都微电子所的2u光刻板，只要一千两百块，南京55所的一千一百块，精度1u的板子五千块，无锡华润略贵，两千块起步，但板子做的确实漂亮。

而要是精度达到纳米级别的板子，那可就相当昂贵了，根据业内小道消息，苹果公司给旗下1型处理器定制的掩膜版，造价高达上百万美元。

掩膜版下方，是一种名为掩膜台的机械装置，它的作用是承载掩模版进行运动，控制精度为纳米级，为了达到苛刻的精确控制要求，长春光机所从昆仑集团采购了高精度极光电机。

在这套机台上，其实有很多技术和产品，都是来自昆仑集团，但最重要的部分，必须是掩膜台下方，巨大而又极端精密的物镜。

物镜由三十多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图，按照比例缩小，再用激光映射的硅晶圆上，并且物镜还要主动补偿各种光学误差，控制曝光精度。

可以毫不夸张的说，物镜就是光刻机的心脏，如果物镜技术过关，哪怕掩膜技术差一点，光源功率弱一些，最终也能得到不错的结果。

但如果物镜技术不行，其他所有子系统就算造的再好，也没有任何作用。

毕竟光刻机的本质，是一套光学系统。

很多不了解半导体行业的同学，往往对其有所误解，真正的芯片制造流程，是激光透过物镜在硅片上曝光出来的，而不是用机器物理雕刻出来的。

高原目光扫过硕大的物镜时候，嘴角轻轻扬起一抹弧度，信心满满。

这套物镜来自系统那大猪蹄子的馈赠，绝不是把三十多片打磨好的玻璃拼接起来那么简单，除了精度，它还有着强大的功率补偿机制，容错机制。

也就是说，激光通过物镜后，功率可以得到一定程度提升，精度方面，则可以做到无限接近完美的程度。

总之就是很牛逼很强大的意思，开了外挂的物镜，效果杠杠的。

物镜下面，就是测量台和曝光台了，老式光刻机需要先测量，再曝光，而这种双工作台系统，则可以实现一片硅片曝光同时，对另一片硅片进行测量和校准，工作效率提高一倍以上。

目前世界上，只有荷兰asl掌握双工作台技术，长春这个机台如果量产的话，将是世界第二名。

整套机台最底部，是内部封闭框架和减振器，它们负责将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持恒定的温度和压力。