测试结果非常喜人，昆仑集团的光学系统，包括最重要的物镜在内，一次就点亮了，并且成功流片。

但与此同时，这次实验也发现了不小的问题，中科光电院负责的光源，波长虽然达标，但却存在功率太低的问题，导致硅片曝光不够，即便用系统馈赠的光学系统和超级物镜，也没办法挽救。

“情况怎么样了？”

高原跑去睡了一觉，回到实验室打了个哈欠。

楚落落小脸煞白，这可怜的孩子，激动加担心，令她昨晚都没睡好，而高原就不同了，他不仅舒舒服服睡一觉，还顺便进入系统空间学习知识。

“还在调整光源，他们太拖后腿了，我看实在不行，就用咱们自己的光源吧！”楚落落心思单纯，也没有多想，当即说道。

高原蹙眉，看着实验室里，一群穿着白色防尘服的工程师，正在对光源发生器进行调试，整个测试也因此陷入停滞，大家都在等待。

看来他们的激光功率的确有问题，而且不像一时半刻能够解决的样子。

想到这里，高原走进了项目办公室。

由于是联合项目，各家老总都来了，所以办公室里人比较多，一个个都显得很疲惫。

“杜所长。”高原对长春光机所的杜维明说道：“这次我们带来了超紫外光源，实在不行，就先测试超紫外激光吧，光电所的深紫外放在后面测。”

高原带了光源，这件事他早就通报过的，在场的人都很清楚。

只是大家心里都有点疑惑，超紫外光源是个什么东西？以前没听说过啊！

光电所做的光源叫紫外，或者说深紫外激光，波长193n，是目前全球应用最广泛的存在，从微米级芯片，一直到14n芯片，都可以使用这种光源。

半导体代工巨头台积电，甚至用深紫外激光拿下了7n工艺，令全球为之震撼，彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。

所以中科光电所测试深紫外光源，高原一点意见都没有，这种光源虽然做不出顶级工艺，但胜在便宜啊，性价比高，并不是说高原拿出超紫外光源后，深紫外光源就不需要了。

合格的光刻机台，应该同时兼容好几种光源，好几种工艺，所以高原让中科光电所先测试深紫外光，打算等他们弄好了，再测试自己的超紫外。