“严肃起来的高老板,一点也不可爱!”
面对广大吃瓜群众的呼声,高原理所当然选择了无视,用他坚定沉稳的声音说道:“想了解光刻机,首先就要明白光是如何产生的。”
“请看大屏幕!”
唰~
下一秒,早已准备好的图表出现,根据讲解进度,图表还会变化播放。
高原走上前,手指图表说道:“不同于西方技术,我们的技术路线比较复杂,如图所示,首先将高功率的二氧化碳激光,打在直径三十微米的锡液滴上,通过高功率激光蒸发锡液,然后将蒸汽加热到电子脱落的临界温度,留下离子,再进一步加热,直到离子开始发射光子。”
“具体来说呢,就是首先打开锡液发生器,使锡液滴落入真空室里,脉冲式高功率激光器启动,击中从旁飞过的锡液滴,频率为每秒五万次,目地是使锡液气化。”
“气化瞬间,锡原子被快速电离,产生高强度的等离子体,这时候,收集镜会捕获等离子体发出的辐射,汇聚形成光源,将集中起来的光源传递至光刻系统,经过放大,调整,物镜的折射,最终曝光在硅晶片之上。”
第二百四十七章 颠覆光刻技术公司内部有间谍(1)
荷兰,asl集团总部。
“他不会是认真的吧!?”
“将锡原子快速电离,然后利用等离子体的辐射作为光源!?”
“怎么做到的?那些华夏人,他们究竟是怎么做到的!?”
“明明有那么多种选项,为何华夏人选择了这么复杂的技术路线!?”
“天呐,我的脑袋几乎就要炸开了!为什么?华夏人为什么要这样做!?”
asl集团技术总监范卡罗尔,痛苦的揪着本就位数不多的发丝,脸色苍白,眼睛里全都是血丝。