第338章 EUV光刻机研发,先奖5000万!邓小岩感动了?

科研,如逆水行舟,不进则退。

70纳米光刻机研发成功,难道陈皓心里不高兴吗?

当然高兴。

但他心里很清楚,这点领先远远不够。

他要的是……

碾压!

让欧美绝望的碾压!

另一边,听到陈皓这么说,众人神情一滞。

第二轮研发?

“浸润式光刻机极限是多少纳米?”陈皓看向众人。

“45纳米?”

“我觉得能到30纳米左右。”

一群科学家七嘴八舌。

对他们而言,更高精度没深入研究,主要靠自身认知推测,给不了准确答案。

“大胆一点!”

陈皓一字一顿道:“一旦解决光源问题,加上更多细节提升,极限能达到7纳米!”

哗!

此话一出,众人皆惊。

要知道,他们刚研发出来的,精度只有70纳米而已。

7纳米光刻机!

提高多少?

简直是骇人听闻!

当然,用同样的浸润式技术,想达到7纳米极限精度,会有一个漫长过程。

“校长。”陈皓沉声喊道。

“到!”

谢武立刻上前。

其他场合,他称呼陈皓为小陈,但在今天这场合……

陈皓如将军。

他为士兵。

士兵必须听命于将军——军令如山!

“由你牵头组建团队,对浸润式光刻机深度研发,开发深紫外光技术。”陈皓下达指令。

经过第一轮研发,浸润式技术已经成熟。

提高精度的核心是光源。

当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。

“是!”谢武激动坏了。

深紫外光?

他听过,却没有相关研究。

以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!

“陈总,这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?

莫非……

谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。

任人唯亲?

“光刻机第二轮研发,包括两个方面。”

陈皓正色道:“一是以谢校长为首,对浸润式光刻机技术,进行深度研发、提升。”

短时间不可能达到极致的7纳米。

需要循序渐进。

70纳米提高到45纳米……

45纳米提高到32纳米……

如此缓步递进,可能只要两三个月,就能出一次新成果。

“二是杜总师、顾总师,组建一支新的研发团队,进行EUV光刻机研发!”陈皓沉声道。

两步走计划。

提升光源技术,对已有浸润式光刻机,进一步挖掘潜力。