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“那,那就好。”张成栋傻呵呵的笑。

把手里的点心硬是塞给井媛,又看着她上楼点亮了灯,张成栋才转身离开,井媛站在窗边上,看着这人离开的背影,嘴角忍不住微微弯了起来,又摇摇头,转身烧热水洗漱去了。

过完年,井熙的父母只在京城多呆了三天,就惦记着厂里的工作,急急忙忙回去了。

井熙把二老送上车,转身又开始没日没夜的泡在实验室里。

事实证明,艰苦的努力,正确的方向,以及充足的经费,终究能得到回报。

之前一个个项目都在卡壳,但是能到出成果的时候,又是一个个的开始井喷。

最开始被攻克的是瞬态全息干涉计量,井熙把这种非接触的测量方法应用在对准系统上,极大的消除了系统误差。

蒋芸那边深紫外光没有太多进展,但是紫外光源已经到了可以被成功应用的程度,对于目前百纳米级制程的精度要求,已经尽够了。

井熙带着这些新成果,很认真的和钱教授谈了谈,大概一个小时以后,钱教授又带着她去找了院长。

“光刻机……你真的决定要做这个?”院长迟疑道,“国家目前的经费有限,只能集中投入几个重大项目,光刻机的研发,已经被半放弃了。”

光刻机肉眼可见就是一个需要大量资金投入的项目,鉴于其复杂程度,还需要大量顶尖的高科技产业的支持,比如更好的光学镜头,更优秀的液压和控制系统。

相比起更加紧迫的航空航天,或者是重型装备研究,看起来效益更慢,而且国内需求并不太迫切,还可以通过进口解决的芯片问题,自然被放在了后头。

“我觉得这个项目我能做出来,”井熙胸有成竹的说,“我能自己解决一部分经费,但是也希望校方和国家的资金支持。”

简单算算就知道,这绝对是一个研究时间超过十年,每年投入经费过亿的大项目,井熙一个人可负担不起。

院长还在犹豫:“你……真的能做出新一代光刻机?”

“肯定可以,”井熙点头,“我手里的技术积累已经够了,只是还需要一个对液压和控制系统比较有经验的实验室合作。”